Original title:
Korelativní tomografie
Translated title:
Correlative tomography
Authors:
Vařeka, Karel ; Touš,, Jan (referee) ; Bábor, Petr (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2021
Language:
eng Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[eng][cze]
Předložená diplomová práce se zabývá korelativním přístupem multimodální analýzy struktur prokovování s různým rozlišením. Výzkum je součástí mezinárodního projektu týkajícího se charakterizace poruch zmíněných struktur, které jsou implementovány v polovodičových zařízeních. Kombinace korelativní mikroskopie a tomografie technikami NanoXCT, FIB-SEM (EDS), FIB-SIMS a AFM byla navržena k zavedení opakovatelného pracovního postupu. Tomografie fokusovaným iontovým svazkem je metoda přesného odprašování v řezech, která mimo jiné v každém průřezu získává cenné snímky s vysokým rozlišením (FIB-SEM) nebo mapy chemického složení (FIB-SIMS). Následující transformace obrazu umožňuje identifikaci defektů jako funkci hloubky ve struktuře. Práce dále věnuje pozornost metodám sjednocení obrazů za účelem optimální prezentace získaných dat.
The presented master’s thesis deals with a correlative approach towards multiscale and multimodal analysis of through-silicon-via structures. The research is part of an international project concerning a failure characterization of said structures and implemented semiconductor devices. Correlative microscopy and tomography techniques of NanoXCT, FIB-SEM (EDS), FIB-SIMS, and AFM were proposed to establish a workflow of measurements. Focused ion beam tomography is a method of precise serial sectioning and obtaining valuable high-resolution images (FIB-SEM) or chemical composition maps (FIB-SIMS) at each cross-section. The following image registration shows the possibility of identifying defects as a function of structure depth. Additionally, the thesis outlines methods of image fusion of high-resolution and spectral images to most appropriately demonstrate the obtained data.
Keywords:
AFM; CT; EDS; FIB; korelativní mikroskopie; korelativní tomografie; SEM; SIMS; sjednocení obrazu; TSV; AFM; correlative microscopy; correlative tomography; CT; EDS; FIB; image fusion; SEM; SIMS; TSV
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/197825