Original title: Analýza vlivu proudění plynu v oblasti umístění vzorku v komoře enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Translated title: Analysis of the influence of the gas flow in the placement of the sample in the chamber of the environmental scanning electron microscope
Authors: Bednář, Eduard ; Bílek, Michal (referee) ; Maxa, Jiří (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2016
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá simulací dynamiky tekutin v enviromentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu, vyhodnocení nastavení řešiče, stupně diskretizace, volby turbulentního modelu a návrhem optimální koncepce enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. V teoretické části práce je popsána problematika enviromentální rastrovací elektronové mikroskopie, softwarové nástroje SolidWorks a ANSYS Fluent, základní rovnice popisující stav tekutin, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. Cílem praktické části práce je vytvoření modelu enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu AQUASEM II v CAD systému SolidWorks a simulace proudění tekutiny v komoře vzorku před clonou PLA1 prostřednictvím softwaru ANSYS Fluent. Sérií simulací je stanoveno nejvhodnější nastavení řešiče. Tyto poznatky jsou využity ve druhé fázi praktické části, kde je navrhován optimální tvar stolu vzorku a vstupu clony PLA1. This thesis deals with the simulation of fluid dynamics in environmental scanning electron microscope and evaluate solvers setup, the degree of discretization, choice of turbulent model and proposal optimal design of environmental scanning electron microscope. The theoretical part describes the issue of environmental scanning electron microscopy, software SolidWorks and ANSYS Fluent, basic equations describing fluid status, fluid turbulence, the mean free path of molecules and electron scattering. The practical part of the thesis is to create the model of environmental scanning electron microscope AQUASEM II in CAD system SolidWorks and simulation of fluid flow in the sample chamber before aperture PLA1 by ANSYS Fluent. A series of simulations provided the perfect setting solver. These knowledge are used in the second stage of the practical part, where is proposed optimal shape of the table sample and the input aperture PLA1.
Keywords: Ansys Fluent; Density-Based solver; Differentially pumped chamber; Environmental scanning electron microscope; SolidWorks; Ansys Fluent; Diferenciálně čerpaná komora; Enviromentální rastrovací elektronový mikroskop; SolidWorks; Řešič Density-Based

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/59843

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-570231


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses