Original title: Studium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS
Translated title: Surface contamination of optical elements studied by Low Energy Ion Scattering LEIS
Authors: Sekula, Filip ; Kolíbal, Miroslav (referee) ; Průša, Stanislav (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2019
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se věnuje studiu povrchové kontaminace optických dílů metodou rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS. Výskyt povrchových nečistot na optických komponentách má negativní dopad na tenké vrstvy na ně nanášené. Ke kontaminaci může docházet mezi jednotlivými kroky výroby. Určením složení těchto nečistot by bylo možné jim předcházet a zvýšit tak efektivitu vrstvících procesů. Měření je prováděno na pravoúhlých optických hranolech za pokojové teploty. Zabýváme se také konstrukcí držáku vzorků s možností jejich vyhřívání v preparační komoře. Dále se věnujeme referenčním měřením k následné kvantifikaci povrchových nečistot. This thesis focuses on study of surface contamination of optical elements using the low energy ion scattering method, LEIS. Presence of surface contaminations on optical elements has a negative contribution on thin layers that are applied upon them. The contamination can occur between the steps of manufacturing process. By determining the composition of the contaminations it could be possible to increase effectiveness during the growth of thin layers. Measurement is realised on right angle prisms at room temperature. We also focus on construction of sample holder that would allow heating of samples in the preparation chamber. Later we measure reference spectra for quantification of surface contamination.
Keywords: LEIS; optical elements; sample heating; sample holder; surface contamination; držák vzorků; LEIS; optické díly; povrchové nečistoty; vyhřívání vzorků

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/179350

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-567533


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses