Original title: Elektronová pinzeta
Translated title: Electron tweezer
Authors: Štubian, Martin ; Šik, Ondřej (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2020
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [eng] [cze]
Táto práca sa zaoberá novým spôsobom manipulácie mikro a nano objektov, konkrétne tekutých AuGe ostrovčekov pomocou elektrónového zväzku. V prvej časti je diskutovaný mechanizmus manipulácie, je popísaný princíp a ďalej sú uvedené experimenty a simulácie potvrdzujúce tento princíp. Druhá časť práce sa zaoberá využitím uvedenej manipulácie k tvorenie mikro/nano štruktúr. This work deals with a new way of manipulating micro and nano objects, specifically liquid AuGe islands by using an electron beam. In the first part, the mechanism of manipulation is discussed, the principle is described and then are shown experiments and simulations which are confirming this principle. The second part of the work deals with the use of this manipulation in fabrication of micro / nano structures.
Keywords: elektrónový zväzok; germánium; pinzeta; SEM; tekutý AuGe ostrov; zlato; electron beam; germanium; gold; liquid AuGe island; SEM; tweezers

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/192391

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-562487


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses