Original title:
Návrh komplexní modulární UHV aparatury pro tvorbu, modifikaci a pozorování nanostruktur in situ
Translated title:
Design of a Complex Modular UHV Aparature for Preparing, Observing and Modifying of Nanostructures in Situ
Authors:
Páleníček, Michal ; Tichopádek, Petr (referee) ; Kostelník, Petr (referee) ; Spousta, Jiří (advisor) Document type: Doctoral theses
Year:
2022
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Předkládaná práce se zabývá vývojem komplexní modulární ultravakuové aparatury na bázi ultravakuového rastrovacího elektronového mikroskopu UHV SEM. Zaměřuje se především na konstrukční návrh zařízení, který je přizpůsoben požadavkům ultravakua, omezení mechanických vibrací a vědecko-výzkumným aplikacím. Komplexní UHV SEM aparatura je určena pro přípravu, pozorování a modifikaci nanostruktur in situ.
The thesis deals with the development of complex modular ultra-high vacuum system based on ultra-high vacuum scanning electron microscope UHV SEM. This discourse focuses primarily on engineering design of the system, which is underlying demands of ultra-high vacuum, limitation of mechanical vibrations and future R&D applications. The device is designed for preparing, observing and modifying of nanostructures in situ.
Keywords:
AES; microscopy; SAM; scanning electron microscope; SEM; UHV; Ultra-High Vacuum; Ultra-High Vacuum system; AES; mikroskopie; rastrovací elektronový mikroskop; SAM; SEM; UHV; ultravakuový systém; ultravakuum
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/204074