Název: Návrh komplexní modulární UHV aparatury pro tvorbu, modifikaci a pozorování nanostruktur in situ
Překlad názvu: Design of a Complex Modular UHV Aparature for Preparing, Observing and Modifying of Nanostructures in Situ
Autoři: Páleníček, Michal ; Tichopádek, Petr (oponent) ; Kostelník, Petr (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Disertační práce
Rok: 2022
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá vývojem komplexní modulární ultravakuové aparatury na bázi ultravakuového rastrovacího elektronového mikroskopu UHV SEM. Zaměřuje se především na konstrukční návrh zařízení, který je přizpůsoben požadavkům ultravakua, omezení mechanických vibrací a vědecko-výzkumným aplikacím. Komplexní UHV SEM aparatura je určena pro přípravu, pozorování a modifikaci nanostruktur in situ. The thesis deals with the development of complex modular ultra-high vacuum system based on ultra-high vacuum scanning electron microscope UHV SEM. This discourse focuses primarily on engineering design of the system, which is underlying demands of ultra-high vacuum, limitation of mechanical vibrations and future R&D applications. The device is designed for preparing, observing and modifying of nanostructures in situ.
Klíčová slova: AES; mikroskopie; rastrovací elektronový mikroskop; SAM; SEM; UHV; ultravakuový systém; ultravakuum; AES; microscopy; SAM; scanning electron microscope; SEM; UHV; Ultra-High Vacuum; Ultra-High Vacuum system

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/204074

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-562388


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Disertační práce