Original title: Lokální charakterizace elektronických součástek
Translated title: Local characterization of electronic devices
Authors: Müller, Pavel ; Škarvada, Pavel (referee) ; Tománek, Pavel (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2010
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Vývoj mikro a nano elektroniky a nanooptiky si vyžaduje nové charakterizační techniky k zajištění kvality navrhovaných součástek. Práce popisuje použití skenovacího optického mikroskopu v blízkém poli (SNOM) v rozměrové kontrole a v lokálním vyšetřování různých parametrů. Příklad jeho potenciálu korelace mezi topografií a odrazivostí měřených kondenzátorů je popsána v této práci. The development of micro and nanoelectronics and nanophotonics needs novel characterization techniques to ensure higher quality of designed devices. The thesis describes a use of Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) in dimensional control and in local investigation of diverse physical parameters. As example of its potential, the correlation between object topography and reflection measurement of capacitors is shown.
Keywords: AFM; capacitor; evanescent waves; local characterization; microscope; NSOM; reflectivity; SNOM; SPM; topography; AFM; evanescentní vlny; kondenzátor; lokální charakterizace; mikroskop; NSOM; odrazivost; SNOM; SPM; topografie

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/5268

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-554551


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses