Název: Effect Of Al2O3 Barrier On The Field Emission Properties Of Tungsten Single-Tip Field Emitters
Autoři: Burda, Daniel ; Knápek, Alexandr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: STUDENT EEICT 2022 /28./, Brno (CZ), 20220426
Rok: 2022
Jazyk: eng
Abstrakt: This research aims to obtain a more in-depth understanding of the field emission properties of tungsten single-tip field emitters (STFEs) coated with a several tens of nanometer thin barrier of Al2O3. The introduction of an additional barrier into the metal-vacuum interface system of the emitter can be beneficial to improve its performance. The tungsten emitters were prepared using a two-step electrochemical drop-off etching technique. Thin oxide barrier coatings were prepared by using low-temperature atomic layer deposition (ALD), a chemical vapor deposition technique. Field emission was studied in an internally developed field emission microscope (FEM) working in UHV vacuum (< 1·10−7 Pa), and the experimental field emission data were analyzed by the so-called Murphy-Good plotsThe value of the local work function of the grown oxide layer were investigated using Ultra-violet photoelectron spectroscopy (UPS).
Klíčová slova: aluminum oxide; Cold field emission; dielectric coatings; Murphy-Good plot; single-tip field emitters; tungsten tip
Zdrojový dokument: Proceedings II of the 28th Conference STUDENT EEICT 2022. Selected Papers, ISBN 978-80-214-6030-0, ISSN 2788-1334

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný na externích webových stránkách.
Externí umístění souboru: https://www.eeict.cz/eeict_download/archiv/sborniky/EEICT_2022_sbornik_2_v3.pdf
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11104/0340092

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-521040


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference