Original title:
Ultra tenké vrstvy nanášené magnetronovým naprašováním a jejich charakterizace
Translated title:
Ultrathin films deposited by means of magnetron sputtering and their characterization
Authors:
Petr, Martin ; Kylián, Ondřej (advisor) ; Straňák, Vítězslav (referee) ; Tichý, Milan (referee) Document type: Doctoral theses
Year:
2017
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Práce je zaměřena na depozici tenkých a ultratenkých vrstev plazmových polymerů, jejich charakterizaci a přípravu nanokompozitů kov/plazmový polymer. Charakterizace vrstev byla částečně prováděna in-situ bez vystavení vzorků okolní atmosféře - metodou spektrální elipsometrie byla měřena tloušťka vrstev, metodou XPS pak chemická struktura vrstev. Po přípravě vzorků byla ex-situ měřena morfologie vrstev i jejich optické vlastnosti. Ukazuje se, že v počátečních stádiích růstu vlastnosti vrstev plazmových polymerů závisí na jejich tloušťce i na materiálu substrátu. Pro připravené nanokompozity kov/plazmový polymer byla rozvinuta celá řada aplikací: mohou sloužit jako superhydrofobní povrchy, gradientní povrchy, substráty pro Ramanovu spektroskopii nebo jako antibakteriální vrstvy. Velká pozornost byla věnována také speciálním optickým vlastnostem připravených nanokompozitních vrstev. Práce má experimentální charakter.Presented work is focused on the deposition and characterization of thin and ultrathin plasma polymer films, then also on the preparation of nanocomposites metal/plasma polymer. The characterization of plasma polymer films was partly done in-situ without exposing the samples to the atmosphere. The thickness of prepared films was measured by spectral ellipsometry, the chemical composition was measured by XPS. The morphology and optical properties of deposited films were measured ex-situ. It is shown that during the initial stages of growth the properties of plasma polymer films depend on their thickness and also on the material of the substrate. Many interesting applications were explored for prepared nanocomposites metal/plasma polymer. They can be used as superhydrophobic coatings, gradient coatings, substrates for Raman spectroscopy or as antibacterial coatings. Moreover, special optical properties of prepared nanocomposites were studied in detail. Presented work has an experimental character.
Keywords:
magnetron sputtering; nanocomposites; plasma polymer films; PTFE; magnetronové naprašování; nanokompozity; plazmový polymer; PTFE; tenké vrstvy
Institution: Charles University Faculties (theses)
(web)
Document availability information: Available in the Charles University Digital Repository. Original record: http://hdl.handle.net/20.500.11956/51441