Original title: Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu
Authors: MACKŮ, Jana
Document type: Bachelor's theses
Year: 2007
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
The aim of the BS thesis is the design and construction of an electrically heated unit for controlled evaporation of precursor for PECVD apparatus. The work contains a description of the design of the evaporation unit and its implementation. The experimental measurements were performed with a PECVD apparatus. Thus, the designation of the characteristics of the evaporation unit was done to enable the utilisation of the project in laboratories. Furthermore, there is a comparison with the characteristics of a commercially available thermostatically heated evaporation unit enclosed. Cílem bakalářské práce je návrh a provedení elektricky vyhřívané jednotky pro řízené odpařování precursoru pro PECVD aparaturu. Práce obsahuje popis návrhu vypařovací jednotky a jejího praktického provedení. Experimentální měření charakteristik bylo provedeno v PECVD aparatuře. Takto byly určeny charakteristiky odpařovací jednotky pro umožnění jejího použití v laboratořích. Dále je poskytnuto srovnání s komerčně nabízenou termostaticky vyhhřívanou jednotkou.
Keywords: natékání; Plazmová depozice; vypařování
Citation: MACKŮ, Jana. Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu. České Budějovice, 2007. bakalářská práce (Bc.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Pedagogická fakulta

Institution: University of South Bohemia in České Budějovice (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Digital Repository of University of South Bohemia.
Original record: http://www.jcu.cz/vskp/5962

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-46635


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > University of South Bohemia in České Budějovice
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses