Original title:
Srovnávací analýza proudění plynu clonou v nízkých tlacích pomocí mechaniky kontinua s metodou Monte Carlo
Translated title:
Comparative analysis of the gas flow through the aperture at low pressures using the continuum mechanics with the Monte Carlo method
Authors:
Mardanova, Elvira ; Bílek, Michal (referee) ; Maxa, Jiří (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2021
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Tato práce vychází ze série odborných článků věnovaných problematice čerpání v diferenciálně čerpané komoře environmentálního rastrovacího mikroskopu. Práce je založena na studii Dr. Danilatose, kde je čerpání diferenciální čerpané komory řešeno pomocí Monte Carlo statistické metody. Práce provádí analýzy proudění plynu v nizkých tlacích clonkou oddělující prostory s velkým tlakovým spádem Dr. Daniláta. Analýzy budou použity při konstrukci experimentální komory, která bude sloužit pro experimentální vyhodnocení výsledků proudění v dané komoře při použití mechaniky kontinua.
This thesis is based on the series of scholarly article dedicated to the issue ofpumping in the differential scanning chamber of an environmental scanning microscope. The thesis is based on Danilatos’s study where the pumping of the differential pumped chamber is solved by means of the Monte Carlo statistical method. The thesis performs analysis of gas flow at low pressures through orifice separating the spaces with a large pressure drop Dr. Danilate. The analyses will be used for the design of the experimental chamber which will serve for the experimental evaluation of the flow results in the chamber using the continuum mechanics.
Keywords:
Differentially Pumped Chamber.; Dynamic Pressure; Recovery Factor; Static Pressure; Total Pressure; Celkový tlak; Diferenciálně čerpaná komora.; Dynamický tlak; Recovery Factor; Statický tlak
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/197083