Original title: The Impact Of Critical Flow In Differentially Pumped Chamber
Authors: Hlavatá, Pavla
Document type: Papers
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), který je konstruován pro vysoký tlak plynů v komoře vzorku namísto vakua, umožňuje studovat vzorky obsahující vodu nebo živé biologické vzorky bez nutnosti jejich speciální úpravy. To z důvodu, že mezi komoru vzorku a tubus je vložena diferenciálně čerpaná komora. Vzhledem k velkým tlakovým spádům u této konstrukce dochází při čerpání plynu k nadzvukovému proudění za clonou oddělující komoru vzorku od diferenciálně čerpané komory. To se projevuje specifickým jevem kritického proudění ve cloně a poklesem tlaku v proudu v nadzvukové oblasti. Vhodnou konstrukční úpravou je možné využít daný jev a docílit snížení průměrného tlaku plynu ve dráze primárního svazku. To má za následek snížení rozptylu primárního svazku a zvýšení ostrosti výsledného obrazu.
Keywords: ANSYS Fluent; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope; ESEM; Shock wave; SolidWorks
Host item entry: Proceedings of the 23st Conference STUDENT EEICT 2017, ISBN 978-80-214-5496-5

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/187051

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-414711


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Conference materials > Papers