Original title: Studium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS
Translated title: Interaction of the noble gas ions and gallium with surfaces and thin layers studied by Low Energy Ion Scattering LEIS
Authors: Chmelický, Martin ; Caha, Ondřej (referee) ; Průša, Stanislav (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2019
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato diplomová práce se věnuje studiu interakce iontů helia, neonu, argonu a galia s grafenovou vrstvou. Při zpracování grafenu fokusovaným galiovým svazkem (FIB) však dochází ke kontaminaci grafenové struktury galiovými ionty a následně dochází k ovlivnění jeho vlastností, např. snížení elektrické vodivosti. Cílem práce je ověřit působení vybraných iontových svazků na strukturu grafenu a vybrat vhodný iontový svazek k jeho odprašování. Dále byla navržena a realizována konstrukční úprava vyhřívací paletky pro analýzu vzorků v zařízení pro nízkoenergiový rozptyl iontů LEIS – Qtac 100, který je připojen ke komplexní aparatuře pro depozici a analýzu nanostruktur SPECS. Tato modifikace umožňuje studium chování vybraných nanočástic na vhodné podložce za zvýšené teploty. In this thesis we study the interaction of helium, neon, argon and gallium ions with graphene. The graphene structure is contaminated with gallium ions during the graphene processing by focused gallium beam (FIB). The graphene properties are affected, e.g. reducing the electrical conductivity. The aim of this thesis is to verify the effect of selected ion beams on the graphene structure and select suitable ion beam for sputtering. Furthermore, the modification of standard heating stage used in LEIS instrument (Qtac 100) was designed and implemented. The LEIS instrument is connected to the complex UHV system for deposition and analysis of nanostructures – SPECS. This modification allows analysis of selected nanoparticles on suitable substrate at the elevated temperature.
Keywords: annealing; FIB; gallium.; graphene; heating stage; in-situ analysis; inert gas ions; LEIS; FIB; galium.; grafen; in-situ analýza; ionty inertních plynů; LEIS; vyhřívací paletka; žíhání

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/179111

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-402556


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses