Original title: Analýzy čerpání v experimentální komoře pro elektronový mikroskop pomocí systému ANSYS
Translated title: Pumping analysis in the experimental chamber for electron microscope using ANSYS system
Authors: Dostalová, Petra ; Bílek, Michal (referee) ; Maxa, Jiří (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2019
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Bakalářská práce se zabývá problematikou čerpání v diferenciálně čerpané komoře environmentálního elektronového mikroskopu. V teoretické části je popsána mikroskopie obecně. Poté se práce zabývá konkrétně environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií s problematikou jejího vakuového systému, výpočetními programy a studií, ze které práce vychází. V praktické části jsou provedeny a vyhodnoceny simulace čerpání v experimentální komoře pomocí systému Ansys Fluent. The thesis is focused on issue of pumping in the differential pumped chambre of an environmental scanning microcope. In the theoretical part, there are presented microscopy as science. Afterwards the thesis is focused on environmental scanning electron microscopy and its problem and vakuum system, computer program used for preparation of simulation and study that the experimental part is based on. The experimental part contains the results of gas flow in the differential pumped chambre. The problematics were solved by Ansys Fluent system.
Keywords: ANSYS Fluent; Differentially pumped chamber; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope; ANSYS Fluent; diferenciálně čerpaná komora; Elektronová mikroskopie; environmentální rastrovací elektronový mikroskop

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/173828

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-401420


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses