Název:
Vliv pracovních podmínek v ESEM na výsledky EDS
Překlad názvu:
Influence of working conditions on the results of EDS in ESEM
Autoři:
Pospíchal, David ; Čech, Ondřej (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2019
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Bakalářská práce se zabývá energiově disperzní spektroskopií a detekcí charakteristického rentgenového záření v oblasti environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Cílem semestrální práce je porovnat výsledky prvkové mikroanalýzy vzorku při optimálních podmínkách a sledovat změny výsledků při změně pracovních podmínek, resp. tlaku dusíku a vodních par v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu Vega3 XMU s LaB6 katodou firmy TESCAN, a.s osazeného spektroskopem Xflash 6|10 firmy Bruker.
The bachelor thesis deals with energy dispersion spectroscopy and detection of characteristic X-rays in the field of environmental scanning electron microscope. The aim of the semester work is to compare the results of elemental microanalysis of samples under optimal conditions and to monitor changes of results, when changing working conditions, resp. nitrogen and water vapor pressure in the sample chamber of the scanning electron microscope Vega3 XMU with LaB6 cathode. TESCAN, a.s equipped with Xflash 6 | 10 spectrophotometer. Bruker
Klíčová slova:
charakteristické rentgenové záření; environmentální rastrovací elektronový mikroskop; křemíkový driftový detektor; prvková mikroanalýza; Rastrovací elektronový mikroskop; spojité rentgenové záření; characteristic X-rays; continuous X-rays; elemental microanalysis; environmental scanning electron microscope; Scanning electron microscope; silicon drift detector
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/173820