Název: Wien Filter Electron Optical Characteristics Determining Using Shadow Projection Method
Překlad názvu: Měření elektronově-optických vlastností Wienova filtru stínovou metodou
Autoři: Horáček, Miroslav ; Vlček, Ivan ; Zobač, Martin
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Wien filter is suitable for the separation of the primary and the signal electron beams in very low energy scanning electron microscope with cathode lens. We have modified the two-grid shadow method to determine experimentally electron optical properties (cardinal elements and aberrations) of the Wien filter, which is not a rotationally symmetric element. We call the modified method the shadow method with grid and moving screen. The advantage of the shadow method is its geometrical simplicity allowing the comparison of the experimentally obtained and numerically computed trajectories. Wienův filtr je možné použít jako separátor primárního a signálního svazku elektronů ve velmi nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou. Abychom mohli experimentálně určit elektronově-optické vlastnosti Wienova filtru, který je rotačně nesymetrickým prvkem, modifikovali jsme stínovou dvoumřížkovou metodu na metodu s mřížkou a pohyblivým stínítkem. Výhodou této metody je její geometrická jednoduchost, která umožňuje porovnání experimentálně získaných a numericky spočítaných trajektorií.
Klíčová slova: shadow method with grid and moving screen; two-grid shadow method; Wien filtr
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), IAA100650803 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165649

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39448


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference