Original title: Charakterizace a fokusace svazku kapilárního XUV laseru pro účely depozice tenkých vrstev
Translated title: Characterization and focusing of capillary-discharge XUV-laser beam for purposes of thin-film deposition
Authors: Pira, Peter ; Wild, Jan (advisor) ; Čuba, Václav (referee) ; Tichý, Milan (referee)
Document type: Doctoral theses
Year: 2018
Language: slo
Abstract: [eng] [cze]
Title: Characterization and focusing of capillary-discharge XUV-laser beam for purposes of thin-film deposition Author: Peter Pira Department: Department of Surface and Plasma Science Supervisor: doc. RNDr. Jan Wild, CSc., Department of Surface and Plasma Science Abstract: The paper deals with the first results of the interaction of a desk-top high repetition rate XUV laser (wavelength of 46.9 nm) radiation with materials suitable for optoelectronics, in particular the ionic crystals CsI, LiF, etc. Using surface physics methods (AFM, DIC Normanski microscopy) pulse laser imprints were investigated. Based on the results obtained, general information on the nature of ablation and desorption was obtained, which were compared with the results of the XUV-ABLATOR modified code modeling. Plasma arising from ablation was examined by a modified Langmuir probe system. The main result is the pulse laser deposition of thin films of Bi and CsI. Keywords: ablation, Pulsed Laser Deposition, XUV laser Název práce: Charakterizace a fokusace svazku kapilárního XUV laseru pro účely depozice Katedra / Ústav: Katedra fyziky povrchů a plazmatu Vedoucí disertační práce: doc. RNDr. Jan Wild, CSc., Katedra fyziky povrchů a Abstrakt: Práce se zabývá prvními výsledky interakce záření XUV stolního kapilárního repetičního laseru o vlnové délce 46,9 nm s materiály vhodnými pro optoelektroniku, zejména iontovými krystaly CsI, LiF aj. Pomocí metod fyziky povrchů (AFM, DIC byly zkoumány otisky dopadu pulzního laseru. Na základě získaných výsledků byly získány ABLATOR. Plazma vznikající při ablaci bylo zkoumáno přizpůsobeným Klíčová slova: ablace, PLD, XUV laser
Keywords: ablation; Pulsed Laser Deposition; XUV laser; ablace; PLD; XUV laser

Institution: Charles University Faculties (theses) (web)
Document availability information: Available in the Charles University Digital Repository.
Original record: http://hdl.handle.net/20.500.11956/102247

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-388447


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Charles University > Charles University Faculties (theses)
Academic theses (ETDs) > Doctoral theses