Original title:
Topná MEMS platforma pro chemické senzory
Translated title:
MEMS microhotplate platform for chemical sensors
Authors:
Vančík, Silvester ; Svatoš, Vojtěch (referee) ; Prášek, Jan (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2018
Language:
slo Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[slo][eng]
Táto diplomová práca sa zaoberá oblasťou návrhu a výroby mikroelektromechanickej vyhrievacej platformy pre chemické senzory plynov. V teoretickej časti sú popísané MEMS, senzory a výrobné procesy a technológie potrebné pre výrobu takejto platformy. Praktická časť obsahuje simulácie, návrh masiek kompletnú výrobu od masiek až po samotnú platformu na čipe. V práci sa tiež nachádzajú výsledky charakterizácie vyrobenej vyhrievacej platformy v porovnaním so simuláciami. Výsledky sú taktiež porovnané s hodnotami s literatúry.
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
Keywords:
MEMS; microhotplate; photolithography; silicon dioxide; stress; thermal conductivity
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/80879