Original title: Roughness measurement of silicon ingot surfaces after squaring with SQM 2800.0 THEMIS machine
Translated title: Měření drsnosti povrchu křemíkových ingotů po squarování
Authors: Havelková, Martina ; Hiklová, Helena ; Schovánek, Petr ; Vojtěchovský, K. ; Vojtěchovská, J.
Document type: Papers
Conference/Event: SILICON 2006, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2006-11-07 / 2006-11-10
Year: 2006
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Surface topography has great importance in specifying quality of a surface. A significant proportion of component failure starts at the surface due to either an isolated manufacturing discontinuity or gradual deterioration of the surface quality. The most important parameter describing surface integrity is surface roughness. In the manufacturing industry, surface must be within certain limits of roughness. Topografie povrchu má velký vliv na specifikaci jeho kvality. Jedna z podstatných vlastností popisujících povrch je drsnost povrchu. Kontrola parametrů drsnosti po squarování Si ingotů je hlavním předmětem příspěvku.
Keywords: roughness; squaring; Talysurf
Project no.: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), 1M06002 (CEP)
Funding provider: GA MŠk
Host item entry: SILICON 2006, ISBN 80-239-7781-4

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0144193

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36773


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Conference materials > Papers