Název:
Coulomb Interaction in Ion and Electron Beams
Překlad názvu:
Coulombovské interakce v iontových a elektronových svazcích
Autoři:
Radlička, Tomáš Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok:
2006
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] The article describes the approach and results of simulation of Coulomb interactions in ion and electron beams. The description of the ion beam in the vicinity of LMIS is presented including the effect on the energy and spatial distribution. The electron beam lithography is the second described system. We were interested in the effect of the coulomb interactions on the focusing of the beam.Článek popisuje postup a výsledky při simulaci Coulombovských interakcí v iontových a elektronových svazcích. Je zde popsáno chování iontového svazku v bezprostřední blízkosti LMIS, vliv Coulombovských interakcí na jeho energiové a prostorové rozložení. Jako druhý systém je popsán elektronový litograf a vliv Colombovských interakcí na možnosti fokusace svazku.
Klíčová slova:
Coulomb interaction; lithography; LMIS Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2325 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139518