Original title: Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Translated title: Depozice organosilanových polymerních vrstev plazmově připravených podpořených CVD
Authors: Zajíčková, L. ; Buršíková, V. ; Sťahel, P. ; Buršík, Jiří ; Peřina, V. ; Macková, A. ; Dubroka, A.
Document type: Papers
Conference/Event: International Conference Solid State Chemistry 2006 /7./, Pardubice (CZ), 2006-09-24 / 2006-09-29
Year: 2006
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. Depozice organosilanových polymerních vrstev plazmově připravených podpořených CVD.
Keywords: plasma; thin films
Project no.: CEZ:AV0Z20410507 (CEP)
Host item entry: International Conference Solid State Chemistry 2006 /7./

Institution: Institute of Physics of Materials AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0137823

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-35943


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics of Materials
Conference materials > Papers