Original title: Deposition and Characterisation of Nanostructured Silicon-Oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings
Translated title: Depozice a charakterizace nanostrukturních diamantů podobných uhlíkových vrstev obsahujících oxid křemíku
Authors: Buršíková, V. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Janča, J. ; Buršík, Jiří ; Klapetek, P. ; Bláhová, O. ; Peřina, V. ; Navrátil, V.
Document type: Papers
Conference/Event: NANO '05, Brno (CZ), 2005-11-08 / 2005-11-10
Year: 2005
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
The aim present work was to deposit and study nanostructured diamond-like carbon coatings with silicon-oxide content on different substrate materials.The variation in SiOx content enabled to minimize the intrinsic compressive stress in coatings.The influence of the coating/substrate interface properties on the results of the indentation tests and its dependence on the coating thickness was studied.Complex analysis of the maesured coating/substrate response was done and the existing models for substrate influence were tested. Cílem práce bylo připravit a studovat nanostrukturní diamantu podobné uhlíkové vrstvy s obsahem oxidu křemíku nanesené na různých substrátech.Změny obsahu oxidu křemíku umožnily minimalizovat vnitřní tlaková napětí v povlaku.Byl studován vliv vlastností rozhraní vrstva/substrát na výsledky indentačních testů a jeho závislost na tloušťce vrstvy.Byla provedena komplexní analýza odezvy systému vrstva/substrát a byly testovány současné modely.
Keywords: DLC; hardness; nanostructured coatings
Project no.: CEZ:AV0Z20410507 (CEP)
Host item entry: NANO '05, ISBN 80-214-3044-3

Institution: Institute of Physics of Materials AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0114799

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-32629


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics of Materials
Conference materials > Papers