Original title:
Appartus for sputter-profiline - Analysis of output data
Translated title:
Přístroj pro měření koncentračních profilů – Analýza výstupních dat
Authors:
Čermák, Jiří ; Stloukal, Ivo Document type: Papers Conference/Event: Metallurgical & Material Conference /14./, Hradec nad Moravicí (CZ), 2005-05-24 / 2005-05-26
Year:
2005
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] In this paper, a new modification of a commercial apparatus Edwards Coating system E306A is described that enables to perform diffusion measurements with radioactive tracers. The plan-parallel thin layers are removed by sputtering with Ar+ ions and the well defined fraction of the sputtered-off material is sequentially collected. The function of the apparatus is exemplified by the measurement of bulk diffusion coefficient of 65Zn in Fe40Ni40B20 alloy at T = 684 K.V tomto příspěvku je popsána nová modifikace přístroje Edwards Coating system E306A umožňující měření koncentračních profilů stopových množství radioaktivních nuklidů. Tenké planparalelní vrstvy jsou odebírány odprašováním Ar+ ionty a definovaný zlomek odprášeného materiálu je sekvenčně shromažďován, což umožňuje jeho analýzu a tím stanovení koncentračního profilu. Funkce přístroje je demonstrována na příkladu měření koeficientu objemové difúze 65Zn ve slitině Fe40Ni40B20 při teplotě T = 684 K.
Keywords:
amorphous alloys; diffusion; sputtering Project no.: CEZ:AV0Z20410507 (CEP), GA106/04/0228 (CEP), IBS2041105 (CEP) Funding provider: GA ČR, GA AV ČR Host item entry: Metal 2005 /14./
Institution: Institute of Physics of Materials AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0112313