Original title:
Optický kamerový systém pro tester elektrických vlastností polovodičových vzorků
Translated title:
The camera vizualization system of precision mesuring situation for semiconductor tester
Authors:
Kostka, František ; Starý, Robert ; Ronovský, Petr ; Krechler, Jindřich Document type: Research reports
Year:
2005
Language:
cze Series:
Výzkumná zpráva, volume: Z 2093/A Abstract:
[cze][eng] Kamerový vizualizační systém slouží k přesnému nastavení polohy snímací jehly proti zkoumanému polovodičovému vzorku upevněném na křížovém mikroposuvném stolku testeru.The CCD camera vizualization system is used for precision position setting of testing needle for topografical I/U measuring characteristic.
Keywords:
cameras; closed circuit television; video equipment Project no.: CEZ:AV0Z20670512 (CEP), IBS2067354 (CEP) Funding provider: GA AV ČR
Institution: Institute of Photonics and Electronics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111619