Název: Computation of the low voltage BSE detector
Překlad názvu: Výpočty nízkonapěťového BSE detektoru
Autoři: Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Rok: 2005
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The scintillator-photomultiplier detection system installed under the pole piece represents the most efficient BSE detector in SEM. However, the initial energy of the BSEs of 0.5-3 keV in the LV SEM is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Appropriate acceleration of BSEs and declination of SEs is necessary for the best BSE image at low acceleration voltage. Electrostatic field affecting signal electron trajectories was simulated in the software package Simion 3D. Klasický detektor zpětně odražených elektronů nemá při nízké energii primárních elektronů (méně než 3 kV) signál dostatečný k vytvoření kvalitního obrazu. Vhodným urychlením zpětně odražených elektronů a odkloněním nežádoucích sekundárních elektronů je možné dosáhnout kvalitního nízkonapěťového BSE obrazu. V práci jsou pomocí programů ELD, MLD, Trasys a Simion 3D počítány elektrostatická a magnetická pole působící v okolí navrhovaného detektoru.
Klíčová slova: computation; low voltage BSE detector; scintillation detector
Číslo projektu: GA102/05/0886 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Mikroskopie 2005

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111564

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31991


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference