Original title: Light collector for air fluorescence as well as for scattering by wafer contaminants
Translated title: Světelný kolektor pro vzdušnou fluorescenci a také pro rozptyl záření na nečistotách křemíkových desek
Authors: Palatka, Miroslav ; Schovánek, Petr ; Hrabovský, Miroslav ; Nožka, Libor ; Řídký, Jan ; Boháčová, Martina
Document type: Papers
Conference/Event: SILICON 2004: The Ninth Scientific and Business Conference, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2004-11-02 / 2004-11-05
Year: 2004
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Air fluorescence is defined as photons produced by charged particles in the air. The excited molecules emit light in the near UV and in the visible region between 300 nm and 400 nm. The simple light collection system for laboratory analysis of the fluorescence signal is presened. The optical layout of Surfscan 4500 (KLA-Tencor) is described and very high similarity between it and fluorescence colection system is shown. Vzdušná fluorescence je definována počtem fotonů produkovaných nabitými částicemi vzduchu. Je zde prezentován jednoduchý světelný kolektor pro laboratorní analýzu tohoto fluorescenčního signálu. Na příkladu systému Surfscan 4500 (KLA-Tencor) je ukázána podobnost mezi jeho kolektivním systémem a kolektivním systémem pro fluorescenci.
Keywords: air fluorescence; collection optics; wafer conaminants
Project no.: CEZ:AV0Z1010920 (CEP), LN00A006 (CEP), LA 134
Funding provider: GA MŠk, GA MŠk
Host item entry: SILICON 2004: The Ninth Scientific and Business Conference

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0110121

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31819


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Conference materials > Papers