Original title: Růst 3D struktur na keramických substrátech indukovaný elektronovým svazkem
Translated title: Growth of 3D Structures Induced by Electron Beam on Ceramic Substrates
Authors: Bukvišová, Kristýna ; Čechal, Jan (referee) ; Salamon, David (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2017
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [eng] [cze]
Vystaví-li se vzorek působení elektronového svazku, dojde na jeho povrchu ke strukturním změnám. Jednou z těchto změn je vertikální růst 3D struktur na keramických materiálech. V práci jsou zkoumány podmínky nutné pro takový proces. Nárůst teploty často zapříčiní povrchové změny, proto je v práci proveden výpočet ohřevu materiálu elektronovým svazkem. Dále je zkoumán vliv různých parametrů svazku na růst 3D struktur, závislost objemu a rozměrů je analyzována pomocí AFM. Výsledný odhad nárůstu teploty se pohybuje v řádech jednotek, maximálně desítek K. Výrazný objemový růst je pozorován pro nízká urychlovací napětí a malé proudy. Výška vzniklých struktur dosahuje 100 nm za minutu a je nepřímo úměrná velikosti proudu. Irradiation of a sample surface by the electron beam is known to cause structural changes. One type of these changes is vertical growth of 3D structures on surface of ceramic materials. In the thesis, the conditions necessary for such processes are analysed. A calculation of heating effect of the electron beam is conducted, since a temperature rise can trigger several surface changes. Impact of various e-beam parameters on the growth of 3D structures is investigated. Changes of volume and dimensions of the structures related to the beam parameters are studied using the AFM. The estimated temperature increase is in range of units or maximally tens of K. Significant volumetric growth rate is observed at low voltages and currents. Height of the grown structures can reach 100 nm per minute and depends inversely on beam current.
Keywords: kontaminace; oxidové keramiky.; Rastrovací elektronová mikroskopie; tepelné účinky elektronového svazku; ceramic oxides.; contamination; electron beam heating; Scanning electron microscopy

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/65052

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-316211


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses