Original title: Příprava vzorků nanostruktur v SEM/FIB a jejich studium v transmisním elektronovém mikroskopu
Translated title: Preparation of nanostructure samples in SEM/FIB and their study in TEM
Authors: Lavková, Jaroslava ; Matolínová, Iva (advisor) ; Pešička, Josef (referee)
Document type: Master’s theses
Year: 2012
Language: slo
Abstract: [eng] [cze]
This work is studying the layers of cerium oxide (doped with platinum) prepa- red by magnetron sputtering on different types of substrates. Attention is focused mainly on modes of growth and morfology of (Pt−)CeO2 layers. The study was carried out by scanning electron microscopy (SEM) and transmission electron microscopy (TEM). The specimens (lamellas) were created by using focused ion beam (FIB) with respect to transparency for electron beam and material contrast. The emphasis was on elimination of redeposition and minimize the amorphous layer of lamella. Representation of elements was determined by energy-dispersive spectroscopy (EDX) and electron-energy loss spectroscopy (EELS). 1 Táto práca je zameraná na štúdium vrstiev oxidu céru (dopovaných platinou) pripravených magnetrónovým naprašovaním na rôzne druhy substrátov. Pozor- nosť je upriamená predovšetkým na spôsob rastu a morfológiu vrstiev (Pt−)CeO2. Štúdium prebiehalo prostredníctvom skenovacej elektrónovej mikroskopie (SEM) a transmisnej elektrónovej mikroskopie (TEM). Vzorky (lamely) pre TEM boli pripravené pomocou fokusovaného iónového zväzku (FIB) s ohľadom na transpa- rentnosť pre elektrónový zväzok a dostatočný materiálový kontrast. Zároveň bol kladený doraz na elimináciu redepozície a minimalizáciu amorfnej vrstvy lamiel. Zastúpenie jednotlivých prvkov bolo určované energiovo-disperznou spektrosko- piou (EDX) a spektroskopiou charakteristických energetických strát elektrónov (EELS). 1
Keywords: cerium oxide; FIB; lamella; SEM; TEM; FIB; lamela; oxid céru; SEM; TEM

Institution: Charles University Faculties (theses) (web)
Document availability information: Available in the Charles University Digital Repository.
Original record: http://hdl.handle.net/20.500.11956/46551

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-310834


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Charles University > Charles University Faculties (theses)
Academic theses (ETDs) > Master’s theses