Original title:
Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí LVSTD detektoru
Translated title:
Influence of working conditions on the signal level detected by LVSTD detector
Authors:
Tylich, Ondřej ; Zimáková, Jana (referee) ; Čudek, Pavel (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2014
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Bakalářská práce seznamuje s činností nízkovakuového elektronového rastrovacího mikroskopu a popisuje jeho jednotlivé součásti. Vysvětluje rozdíl mezi nízkovakuovým a vysokovakuovým rastrovacím elektronovým mikroskopem. Obsahuje informace o vzniku signálů a detekci sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Zjednodušeně popisuje výpočet poměru signál šum a metodu získávání hodnoty velikosti signálu. Práce se zaměřuje na zkoumání vlivu pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí Low Vacuum Secondary Electron TESCAN Detectoru (LVSTD) a na měření poměru signál šum. Cílem práce je zjistit stabilitu a vliv pracovních podmínek na LVSTD.
This bachelor project includes information about function of low vacuum scanning electron microscope and describes it’s parts. It explains the difference between low vacuum and high vacuum scannig electron microscope. Contains informations about creation and detection of secondary electrons using scintillation detectors. It describes the calculation of signal to noise ratio and the method for obtaining the values of signal. Project is focused to determine the value of signal with a change in working conditions obtained by using Low Vacuum Secondary Electron Detector TESCAN (LVSTD). The aim is to determine the stability of the effect of working conditions on LVSTD.
Keywords:
detector; enviromental scanning electron microscope; environmental.; Low Vacuum Secondary Electron TESCAN Detectoru; noise; Scanning electron microscope; scintillation detector; secondary electrons; signal; nízkovakuový rastrovací elektronový mikroskop; nízkovakuový Tescan detektor sekundárních elektronů; poměr signál - šum; Rastrovací elektronový mikroskop; scintilační detektor; sekundární elektrony; velikost signálu.
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/34141