Original title:
Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách
Translated title:
Study on the behavior of heavy metals in gettering multilayers
Authors:
Gretz, Leoš ; Lysáček, David (referee) ; Bábor, Petr (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2010
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Cílem práce je analyzovat chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách (tvořených vrstvami polykrystalického křemíku oddělených vrstvami oxidu křemíku) a porovnat ho s getračním chováním ve vrstvách tvořených pouze polykrystalickým křemíkem.
This thesis is devoted to the behavior of heavy metals in gettering multilayers made of polysilicon and silicon oxide.
Keywords:
contamination; depth profiling; Si wafer; SIMS; hloubkové profilování; kontaminace; Si deska; SIMS
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/23047