Original title: Selektivní růst kovových materiálů na čistých a oxidovaných substrátech.
Translated title: Selective growth of metallic materials on clean and oxidized substrates.
Authors: Koňáková, Kateřina ; Cháb, Vladimír (referee) ; Čechal, Jan (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2008
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce pojednává o studiu morfologie tenké vrstvy kobaltu na čistém Si(111) a na Si(111) s tenkou vrstvou oxidu křemičitého pomocí metod AFM a XPS. Je také studií selektivního růstu kobaltu na mřížkách vytvořených pomocí fokusovaného iontového svazku a elektronové litografie. Dále je zkoumán růst kovových materiálů (Fe, Co) na povrchovém oxidu vytvořeném na Ni3Al(111). The diploma thesis deals with morphology of cobalt thin film on clean Si(111) and on silicon dioxide thin film on Si(111) studied by AFM and XPS. It is also study of selective growth of cobalt on lattice made by focused ion beam and electron lithography. In the last part, the growth of metals (Fe, Co) on surface oxide on Ni3Al(111) was studied.
Keywords: AFM; clusters; Co; cobalt; selective growth; Si; silicon; silicon dioxide; SiO2; STM; surface oxide on Ni3Al; XPS; AFM; Co; klastry; kobalt; křemík; oxid křemičitý; povrchový oxid na Ni3Al; selektivní růst; Si; SiO2; STM; XPS

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/15529

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-228255


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses