Original title: Napájecí zdroj pro pulsní magnetronové naprašování
Translated title: Power source supply for pulse magnetron sputtering
Authors: Chochola, Ondřej ; Havlíček, Tomáš (referee) ; Boušek, Jaroslav (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2008
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá teorií depozice velmi tenkých vrstev pomocí pulsního magnetronového naprašování a návrhem, realizací a testováním napájecího zdroje pro pulsní magnetronové naprašování. The delivered thesis deals with the theory of very thin layers deposition by means of pulse magnetron sputtering and the proposal, realization and testing of the power supply source for the pulse magnetron sputtering.
Keywords: Deposition; discharge; magnetron; power supply; pulse; sputtering; substitute circuit; Depozice; magnetron; naprašování; náhradní obvod; pulsní; pájecí zdroj; výboj

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/15217

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-221880


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses