Original title: Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii
Translated title: Design and Simulation of Micro-Bolometer in MEMS Technology
Authors: Svatoš, Vojtěch ; Pekárek, Jan (referee) ; Hubálek, Jaromír (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2014
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [eng] [cze]
Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán. This master thesis studies the infrared detector called bolometer. The task is to improve the infrared detection by using different type of absorption layer modified by the carbon nanotubes. In theoretical part there are basic terms of thermal engineering and basics definitions of bolometer physics. The bolometer design is presented and described. The thermal mechanical simulations are evaluating the operation behavior. PSpice model of bolometer is created combing the thermal and electrical properties of the bolometer chip. The fabrication process is then presented and detailed described.
Keywords: design; Detektory infračerveného záření; mikrobolometr; simulace.; teplotní managment; výrobní proces; design; fabrication process; Infrared detectors; microbolometer; simulation.; thermal engineering

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/32295

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-221020


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses