Original title: Anodické pájení sendvičových struktur
Translated title: Anodic bonding of sandwich structures
Authors: Urbánek, Petr ; Kosina, Petr (referee) ; Pekárek, Jan (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2013
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato diplomová práce se zabývá technologií anodického pájení. Zaměřuje se zejména na pájení sendvičových struktur sklo-křemík. Popisuje danou metodu pájení a vyzdvihuje její přednosti. Teoreticky rozebírá jednotlivé užívané způsoby pájení těchto struktur a hodnotí jejich možný přínos. Prakticky tato práce zkoumá možné způsoby pájecích metod na konkrétním zařízení. Tyto jednotlivé pájecí metody jsou hodnoceny na základě dosažené kvality spoje. Dále se tato práce zabývá otázkou anodického pájení při nízkých teplotách, přičemž jsou zde kladeny nároky na zkrácení celého technologického procesu. This master thesis deals with the technology anodic soldering. It focuses mainly on soldering sandwich glass-silicon structures. Describes the soldering method and highlights its advantages. Theoretically discusses the different methods used soldering these structures and assess their possible benefits. This work explores practical ways possible soldering methods on a particular device. These different soldering methods evaluated on the basis of achieved quality connections. This thesis examines the anodic soldering at low temperatures, while there are demands on the shortening of the technological process.
Keywords: Anodic bonding; Glass.; MEMS; Silicon; Temperature; Voltage; Anodické pájení; Křemík; MEMS; Napětí; Sklo.; Teplota

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/26973

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-220223


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses