Original title: Návrh iontového zdroje pro odprašování
Translated title: Design of an ion source for sputtering
Authors: Glajc, Petr ; Voborný, Stanislav (referee) ; Kolíbal, Miroslav (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2012
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje. Jejím cílem je navrhnout iontový zdroj se sedlovým polem pro odprašování. Inovací ve vypracovaném návrhu je kombinace klasického válcově symetrického iontového zdroje a žhavené katody vyrobené z wolframu. V první části práce je uvedena rešerše problematiky iontových zdrojů. Druhá část se zabývá elektronově-optickým návrhem zdroje a simulací elektrostatického pole včetně trajektorií elektronů a iontů. Jsou také odhadnuty některé parametry iontového zdroje. V třetí části je detailně popsán konstrukční návrh založený na předchozích simulacích. Součástí práce je kompletní výkresová dokumentace. This bachelor's thesis deals with the development of a new type of an ion source. The aim is to design a saddle-field ion source for sputtering. The unique property of the design is that it combines classical cylindrical-symmetry saddle-field ion source with a hot cathode made of tungsten. In the first part of the thesis an overview of the published research in the field of ion sources is presented. The second part deals with an electrostatic-optical design of the source and with simulations of the electrostatic field including trajectories of electrons and ions. Also a crude estimation of the source parameters is made. In the third part the construction design based on previous simulations is described.
Keywords: construction; EOD; hot cathode; ion source; saddle field; sputtering; EOD; iontový zdroj; konstrukce; odprašování; sedlové pole; žhavená katoda

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/8429

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-212932


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses