Original title:
Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Translated title:
Creation of plasmonic micro- and nanostructures by electron beam lithography
Authors:
Babocký, Jiří ; Dvořák, Petr (referee) ; Kvapil, Michal (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2012
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato bakalářská práce se zabývá výrobou plazmonických antén pomocí elektronové litografie. V první části jsou shrnuty informace o technologiích použitelných pro tvorbu kovových nano a mikrostruktur na křemíkovém a skleněném substrátu. V další části je popsána metoda elektronové litografie a technologie, které jsou pro ni používány. V závěrečné části jsou popsány provedené experimenty a vytvořen empirický model popisující závislost velikosti vyrobených struktur na parametrech litografie.
This beachelor’s thesis deals with a fabrication of plasmonic antennas using electron beam lithography. First section consists of summary of a technologies that can be used for production of metallic micro and nanostructures on silicon and glass substrate. Second section provides a description of electron beam lithography method and technologies that are used for it. Final part describes experiments, that were done and empiric model describing dependance of dimension of fabricated structures on lithographic parameters.
Keywords:
EBL; electron beam lithography; empiric model; plasmonic antennas; EBL; elektronová litografie; empirický model; plazmonické antény
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/17207