Original title: Řízení depozičního procesu pomocí počítače
Translated title: Computer control of the deposition process
Authors: Pavera, Michal ; Voborný, Stanislav (referee) ; Urbánek, Michal (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2009
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Bakalářská práce se zabývá problematikou spojenou s návrhem automatizace depozice ultratenkých vrstev metodou IBAD. Jedním z úkolů bakalářské práce je návrh a realizace ovládání držáku substrátu a terče. Tato práce tedy obsahuje výkresovou dokumentaci úpravy manipulátorů držáku terče a ovládání clony, pro možnost jejich ovládání pomocí krokových motorů. Dalším úkolem je návrh elektrického a programového řízení primárního a sekundárního iontového zdroje. Je zde tedy popsáno řešení propojení celé aparatury s počítačem pomocí AD/DA převodníků a jejich vhodné naprogramování. V závěru jsou diskutovány rozdíly mezi manuálním a automatizovaným ovládání a také jejich klady a zápory. This bachaloers thesis deals with automation of the deposition process of the ultrathin layers by IBAD method. One of the tasks is to design motorized target and shutter manipulator. The thesis therefore contain drawings of these manipulators. Which enable their control by stepper motors. Second task is to design of electronics and program control of primary and secondary ion source. In this part is described connection of the system with the computer using AD/DA converters and the appropriate programming. Last part of the thesis deals with differences between automated and manual control of the system, their advantages and disadvantages.
Keywords: AD/DA converter; IBAD; IBS; ion source; layer; step motor; thin-film deposition; AD/DA převodník; depozice tenkých vrstev; IBAD; IBS; iontové naprašování; iontový zdroj; krokový motor; vrstva

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/9389

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-211188


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses