Original title: Studium fragmentace organosilikonových molekul v plazmatu
Translated title: Study of organosilicone fragmentation in plasma
Authors: Sahánková, Hana ; Studýnka, Jan (referee) ; Krčma, František (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2009
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract: [cze] [eng]
Tématem bakalářské práce je studium fragmentace organo-křemíkových látek v plazmatu. Jako příklad organosilikátu byl zvolen dymethylfenylsilan. V teoretické části je popsán základní přehled plazmochemických procesů a technologií, použitých v současném světě. Tato část je rovněž věnována popisu základních metod diagnostiky plazmatu, jako je optická emisní spektroskopie a dále hmotnostní spektroskopie. Experimentální část se skládá z dvou odlišných experimentů. První byl modelový experiment fragmentace DMPS svazkem elektronů o přesné energii a byl proveden na Fakultě Matematiky, Fyziky a Informatiky UK v Bratislavě. Výsledky přinášejí souhrn elektronových energií potřebných pro tvorbu různých iontových fragmentů z původní molekuly a účinné průřezy pro jejich tvorbu. Druhá část experimentu byla uskutečněna v kapacitně vázaném RF nízkotlakém plazmatu během depozice tenkých vrstev na bázi DMPS. Plazma bylo monitorováno optickou emisní spektroskopií při různém výkonu dodávaném do plazmatu. Další práce bude zaměřena na výpočet parametrů plazmatu ze spekter a jejich porovnání s daty získanými z modelového experimentu. This Bachelor Thesis deals on the study of organosilicone monomers in plasma. The dimethylphenylsilane (DMPS) was chosen as the organosilicone example. The theoretical part gives basic overview of plasmachemical processes and technologies used in present world. Some part is reserved for the description of plasma diagnostic basic methods as optical emission spectroscopy and mass spectroscopy. The experimental part is constituted from two different experiments. The first one was done as model experiment of DMPS fragmentation by electron beam of exact energy and it was completed at Faculty of Mathematics, Physics and Informatics in Bratislava. Results of these experiments brought a set of electron energies needed for the creation of various ionic fragments from the original molecule as well as the cross sections for their creation. The second part of the experiments was carried out under the inductively coupled RF low pressure plasma conditions during the deposition of DMPS based thin films. The plasma was monitored by optical emission spectroscopy at different discharge power. Various species were identified in the spectra. The calculation of plasma parameters and their comparision with the model experiment data will be subjects of the further work.
Keywords: cross section; mass spectroscopy; molecular fragmentation; optical emission spectroscopy.; Organosilicones; hmotnostní spektroskopie; molekulová fragmentace; optická emisní spektroskopie.; Organosilikáty; účinný průřez

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/5920

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-208566


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses