Original title: Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek
Translated title: Plasma preparation of thick metal layers for mechanical engraving of blazed diffraction gratings
Authors: Olejníček, Jiří
Document type: Research reports
Year: 2015
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Smluvní výzkum byl zaměřen přípravu a optimalizaci procesu depozice vybraných tlustých kovových vrstev o tloušťce 5 až 10 µm na leštěné skleněné substráty. Ze strany zadavatele byl kladen důraz zejména na mechanické vlastnosti vrstev: adheze, porozita, homogenita, tvrdost a časová stálost. Contract research was focused on preparation and optimization of the deposition process of the selected thick metal layers with a thickness 5 to 10 microns on a polished glass substrates. The emphasis was mainly on the mechanical properties of films: adhesion, porosity, homogeneity, hardness and time stability.
Keywords: magnetron sputtering; surface properties; thin films

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0257670

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-203172


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Reports > Research reports