Original title:
Laser cutting of CVD diamond wafers
Translated title:
Laserové řezání CVD diamantových plátků
Authors:
Chmelíčková, Hana ; Stranyánek, Martin ; Rosa, Jan ; Vaněček, Milan Document type: Papers Conference/Event: International Symposium Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Laser Conference /15./, Praha (CZ), 2004-08-30 / 2004-09-03
Year:
2004
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] CVD diamond wafers with diameter 51 mm and thickness from 0,1 mm to 0,7 mm are necessary to cut to different shapes. Cutting technology by means of pulsed Nd:YAG laser was developed to successful dividing of thin piecesPlátky syntetického diamantu o průměru 51 mm a tloušťky od 0,1 mm do 0,7 mm je potřeba řezat na další tvary různých rozměrů. Byla vyvinuta technologie řezání pulsním Nd:YAG laserem k úspěšnému dělení tenkých vzorků
Keywords:
cutting technology; CVD diamond wafers; laser; Nd:YAG laser Project no.: LN00A015 (CEP), IBS1010353 (CEP) Funding provider: GA MŠk, GA AV ČR Host item entry: Proceedings of the 15.International Symposium Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Laser Conference, ISBN 80-7262-279-X
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0009821