Název:
SMV-2012-10: Vypracování a ověření metodiky fyzikální realizace optických tenkých vrstev metodou elektronového napařování
Překlad názvu:
SMV-2012-10: Development and validation of the methodology of physical realization of optical thin films by electron evaporation
Autoři:
Pokorný, Pavel ; Oulehla, Jindřich Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2012
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Posouzení a analýza spektrálních vlastností systému tenkých vrstev a výzkum a modelování možností realizace optických filtrů splňujících zadané spektrální vlastnosti a následné ověření teoretických úvah depozicí vzorků metodou napařování elektronovým svazkem a ověření reprodukovatelnosti.The assessment and analysis of the spectral properties of thin film systems and research and modelling of realization possibilities of optical filters that meet specified spectral characteristics and the subsequent verification of theoretical considerations by deposition of samples using electron beam evaporation and verification of reproducibility.
Klíčová slova:
e-beam evaporation; multilayer coatings; thin film coatings
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0232004