Original title: Simulace optické soustavy depozičního monitoru
Translated title: Simulation of optical system of deposition controller
Authors: Doleček, Roman ; Pintr, Pavel ; Václavík, Jan
Document type: Research reports
Year: 2013
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Zpráva popisuje výsledek modelování stávajícího vysílací a přijímací optické soustavy systému pro monitorování procesu vakuové depozice. Výsledek je diskutován s pozorovanými vlastnostmi systému, zejména chování pro různé vlnové délky a optická propustnost. Na základě analýzy je provedena matematická optimalizace nastavení komponent systému s cílem zlepšení výkonu a robustnosti. The report describes results of modeling of optical system which is component of optical monitoring system applied on machines for vacuum thin film deposition. Results were compared to real behavior of system, especially chromatic properties and total throughput. A numerical optimization, based on analysis results, was performed in order to improve throughput and ruggedness of the system.
Keywords: optical monitoring; optimalization; simulation; thin film

Institution: Institute of Plasma Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0232960

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-180206


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Plasma Physics
Reports > Research reports