Original title:
Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu
Translated title:
Deposition methods of thin films using low-temperature plasma
Authors:
GÜNZEL, Martin Document type: Master’s theses
Year:
2013
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Tato diplomová práce je zaměřena na popis vybraných metod nanášení tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu. V současné době existuje mnoho způsobů vytváření tenkých filmů a mnoho aplikací v nejrůznějších průmyslových odvětvích. V této práci je nejprve uveden stručný přehled nanášecích metod, chování plazmatu během nanášení a následně popis principu vybraných metod nanášení vzhledem k fyzikálním a chemickým procesům. Zmiňujeme též výhody a nevýhody popisovaných nanášecích technologií a několik konkrétních příkladů jejich využití. Práce by měla přispívat k celkovému přehledu moderních nanášecích technologií, jejich rozvoji a využití v současné době, popř. možnostech využití v budoucnosti.This thesis is focused on the description of selected deposition methods of thin films using low-temperature plasma. Currently, many various technologies of thin films are developed and there are many applications in various industrial sectors. This thesis first gives a brief overview of deposition methods, plasma behavior during deposition and subsequent description of the selected methods of application due to the physical and chemical processes. They also discussed the advantages and disadvantages of the described coating technologies, and several examples of their use. The thesis should thus contribute to the overall view of modern coating technologies, their development and use currently, or possible use in the future.
Keywords:
deposition; low-temperature; plasma; Surface engineering; surface modification; thin solid films; depozice; modifikace povrchu; nízkoteplotní plazma; Technologie povrchových úprav materiálů; tenké vrstvy Citation: GÜNZEL, Martin. Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu. České Budějovice, 2013. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Pedagogická fakulta
Institution: University of South Bohemia in České Budějovice
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Digital Repository of University of South Bohemia. Original record: http://www.jcu.cz/vskp/18129