| |
| |
|
Programy pro elektronově optický návrh
Lencová, Bohumila ; Oral, Martin
Článek podává stručný přehled výpočetních metod používaných v ÚPT AV ČR pro návrh elektronově optických zařízení. Nové možnosti programového vybavení jsou pak ilustrovány na výpočtech rozložení proudu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s nízkou energií a Wienovým filtrem.
|
| |
| |
| |
| |
|
Návrh nízkoenergiového REM
Vlček, Ivan ; Lencová, Bohumila ; Horáček, Miroslav
Naším cílem je upravit nízkoenergiový mikroskop, který byl realizován v ÚPT AVČR , pro detekci úhlového rozložení signálních elektronů. Ke splnění cíle musíme oddělit svazek signálních elektronů od svazku primárních elektronů pomocí Wienova filtru a zobrazit zadní ohniskovou rovinu objektivové čočky na polohově citlivý detektor (ze zadní strany osvětlovaný CCD). Pro tento účel byl navržen nový elektrostatický optický systém pracující v ultravakuu
|