|
|
Vyhodnocení vlivu tvaru otvorů clonek na výsledný tlak na dráze sekundárních elektronů v detektoru pomocí systému CAE
Novotný, Marek ; Špinka, Jiří (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie. Zkoumaným zařízením je environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), konkrétně scintilační detektor tohoto mikroskopu. Je zde řešen vliv profilu otvorů v clonkách na výsledný tlak a proudění plynu na dráze sekundárních elektronů u detektoru. Úvodní část práce seznamuje s mikroskopií obecně, se zaměřením na elektronovou mikroskopií. Z elektronové mikroskopie pak především rastrovacím mikroskopem, protože zkoumání probíhá právě na environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Další část pojednává o obecných principech dynamiky plynů, tak i o metodě konečných objemů. O konkrétním použitém softwaru a nastavení jednotlivých parametrů pro výpočet pojednává další část. Na začátku výpočtu je použito pět základních profilů otvorů v clonkách pro tlak 1000 Pa v komoře vzorku. Pro modelování jednotlivých tvarů je použit 3D parametrický modelář SolidWorks. Analýza proudění sekundárních elektronů detektorem je provedena za pomoci modulu Cosmos FloWorks. Z naměřených modelů je vybrán nejvíce vyhovující typ clonek. Další část práce se zabývá proměřením vybraného typu clonek pro více tlaků v komoře vzorku a to pro tlak 200, 400, 600, 800 a 1000 Pa. Výstupem tohoto zkoumání jsou jak modely tlaku a rychlosti proudění uvnitř detektoru, tak graficky zpracované hodnoty při použití jednotlivých clonek resp. jednoho druhu clonky při různých tlacích. Výrobní výkresy jednotlivých clonek, stejně jako vypočítané modely, jsou uvedeny v příloze práce.
|
|
|
Vyhodnocení vlivu tvaru otvorů clonek na výsledný tlak na dráze sekundárních elektronů v detektoru pomocí systému CAE
Novotný, Marek ; Špinka, Jiří (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie. Zkoumaným zařízením je environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), konkrétně scintilační detektor tohoto mikroskopu. Je zde řešen vliv profilu otvorů v clonkách na výsledný tlak a proudění plynu na dráze sekundárních elektronů u detektoru. Úvodní část práce seznamuje s mikroskopií obecně, se zaměřením na elektronovou mikroskopií. Z elektronové mikroskopie pak především rastrovacím mikroskopem, protože zkoumání probíhá právě na environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Další část pojednává o obecných principech dynamiky plynů, tak i o metodě konečných objemů. O konkrétním použitém softwaru a nastavení jednotlivých parametrů pro výpočet pojednává další část. Na začátku výpočtu je použito pět základních profilů otvorů v clonkách pro tlak 1000 Pa v komoře vzorku. Pro modelování jednotlivých tvarů je použit 3D parametrický modelář SolidWorks. Analýza proudění sekundárních elektronů detektorem je provedena za pomoci modulu Cosmos FloWorks. Z naměřených modelů je vybrán nejvíce vyhovující typ clonek. Další část práce se zabývá proměřením vybraného typu clonek pro více tlaků v komoře vzorku a to pro tlak 200, 400, 600, 800 a 1000 Pa. Výstupem tohoto zkoumání jsou jak modely tlaku a rychlosti proudění uvnitř detektoru, tak graficky zpracované hodnoty při použití jednotlivých clonek resp. jednoho druhu clonky při různých tlacích. Výrobní výkresy jednotlivých clonek, stejně jako vypočítané modely, jsou uvedeny v příloze práce.
|
|
| |
|
| |
host ::
RSS.