|
|
Dynamické chování kontrastu dopantů v LVSEM
Mika, Filip ; Frank, Luděk
Kontrast mezi rozdílně dopovanými oblastmi polovodiče může být pozorován v rastrovacím elektronové mikroskopu v signálu sekundárních elektronů. Na různě dopovaných vzorcích bylo studováno chování kontrastu v závislosti na dávce dopadajících elektronů, jejich energii a přítomnosti vrstvy nad povrchem polovodiče.
|
|
|
Detekční strategie pro sběr sekundárních elektronů v REM
Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Wandrol, Petr ; Mika, Filip ; Müllerová, Ilona
Sekundární elektrony (SE) jsou v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM) obvykle detekovány pomocí Everhartova-Thornleyho (ET) detektoru, jehož slabé elektrostatické pole přitahuje nízko energiové SE; takový systém nazveme standardní. Tento systém se používá více než 40 let. Moderní REM dosahují zlepšení obrazového rozlišení vlivem silného magnetického pole objektivové čočky, které proniká do oblasti vzorku (tzv. imerzní systém). V tomto případě se obvykle používají dva SE detektory: jeden umístěný pod objektivem (spodní detektor) a druhý se nachází uvnitř objektivu (horní detektor). Výsledný kontrast obrazu sekundárních elektronů stejného vzorku se mění s energiovou a úhlovou citlivostí detektoru, v závislosti na rozložení elektrostatického a magnetického pole v okolí vzorku. Studium sběrové účinnosti jednotlivých detektorů je nezbytné pro správnou interpretaci pozorovaného kontrastu.
|
|
| |
|
| |
|
|
Režim katodové čočky v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Müllerová, Ilona
Je shrnuty elektronově optické charakteristiky režimu katodové čočky, umožňujícího zbrzdit elektronový svazek bombardující preparát v rastrovacím elektronovém mikroskopu na libovolně nízkou energii. Jsou popsány kontrastní mechanismy projevující se při velmi nízkých energiích pod 100 eV společně s detekčními strategiemi schopnými tyto kontrasty zachytit. Jsou předloženy ilustrující příklady.
|
|
| |
host ::
RSS.