Název:
Analýza komory diferenciálního čerpání EREM pomocí systému Cosmos FloWorks
Překlad názvu:
Using Cosmos FloWorks for analysis of the ESEM differential chamber
Autoři:
Jašek, Michal ; Špinka, Jiří (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2009
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
V práci bude nejprve popsána stručná problematika elektronové mikroskopie a následně v systému SolidWorks vymodelovány vybrané tři tvary komory diferenciálního čerpání, na kterých bude pomocí systému Cosmos FloWorks provedena analýza čerpání plynu pro vytvoření vakua. Výsledky analýzy budou podrobeny zhodnocení vzhledem k požadavku, aby v dráze primárního svazku elektronů byl co nejnižší tlak z důvodu zabránění jeho rozptylu.
The paper outlines fundamental issues of electron microscopy and models three selected shapes of the differential chamber using the SolidWorks system. The models are then analysed using Cosmos FloWorks with regard to vacuum pumping. The aim is to find a model with minimum pressure in the electron beam trajectory and hence the least dissipation.
Klíčová slova:
CAD; CAE; EREM.; CAD; CAE; EREM.
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/6523