Název: Testování a optimalizace iontového zdroje
Překlad názvu: Testing and optimization of an ion source
Autoři: Glajc, Petr ; Král,, Jaroslav (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2014
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
V diplomové práci je detailně popsán proces testování iontového zdroje se sedlovým polem doplněný nejdůležitějšími výsledky experimentů. Mezi ně lze zařadit měření příčného profilu proudu iontového svazku a energiového spektra iontů pomocí Faradayovy sondy. Pomocí výsledků těchto měření je ukázáno, že optimalizovaný zdroj pracuje správně a dle očekávání. V závěru práce je popsán vývoj iontově-optického a konstrukčního návrhu fokusační optiky a dále je zobrazena vyrobená sestava optiky nainstalovaná na iontovém zdroji. A thorough description of the testing of a saddle-field ion source is presented in the diploma thesis. The most important experimental results, such as Faraday cup measurements of the ion beam current profile and of the ion energy spectra, are included. Based on these results it is shown that the optimized ion source works correctly and according to the expectations. At the end of the thesis, the development of the ion-optical and construction design of the focusing optics is described. The manufactured optics assembly attached to the ion source is also shown.
Klíčová slova: fokusační optika; iontový zdroj; odprašování; optimalizace; sedlové pole; žhavená katoda; focusing optics; ion source; optimization; saddle field; sputtering; thermionic cathode

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/33387

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-598353


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce