Název:
Analýza vlivu umístění usměrňovače v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání
Překlad názvu:
Analysis of the impact of the baffle placement in the supersonic flow in the differentially pumped chamber
Autoři:
Vlasáková, Martina ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2018
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Tato práce se zabývá oblastí komory diferenciálního čerpání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu, umístěním tlak omezujících clon a vlivem přepážky uvnitř komory. V teoretické části je nejprve popsána Mikroskopie jako věda, informace o mikroskopech (rozdělení mikroskopů) a elektronech. Poté se práce zabývá přímo environmentální rastrovací elektronovou mikroskopí a její problematikou a vakuovým systémem. Dále jsou rozebrány programy pro výpočet daných problémů a jejich princip, simulace, matematické modely a výpočtové oblasti, základní informace o srovnávací studii, ze které práce vychází. V experimentální části jsou uvedeny cíle práce a kapitola věnující se zpracování výsledků, které jsou srovnávány s výchozí studií za použití programu Ansys Fluent.
This thesis deals with the area of the differential pumping chamber of an environmental scanning electron microscope, engaging the pressure limiting apertures and the influence of the enclosure inside the chamber. In the theoretical part, it is first called Microscopy as science, information about microscopes (division of microscopes) and electrons. Afterwards, the theory deals directly with environmental scanning electron microscopy and its problems and vacuum system, mathematical models and computational areas, basic information about the comparative study from, which the thesis is based. In the experimental part there are presented the objectives of the work and the chapter dealing with the processing of results, which are compared with the initial study using the program Ansys Fluent.
Klíčová slova:
Ansys Fluent; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; Komora diferenciálního čerpání; Solid Works.; Ansys Fluent; Differentially pumped chamber; Environmental scanning electron microscope; Solid Works.
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/81756