Název: Tvorba motivů tenkovrstvými metodami
Překlad názvu: Creating themes thin-film methods
Autoři: Ondráček, Michal ; Šimonová, Lucie (oponent) ; Šubarda, Jiří (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2014
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Diplomová práce se zabývá teorií technologie tenkých vrstev, zejména vytvářením těchto vrstev. Dále práce obsahuje rozdělení vakuových depozičních technik na fyzikální (PVD) a chemické (CVD). Hlavním cílem práce je vytvořit motivy různými způsoby realizace pomocí magnetronového naprašovacího zařízení a tyto motivy vyhodnotit z hlediska kvality naprášení. The master’s thesis deals with the theory of thin film technology, especially creating these layers. The work includes the distribution of vacuum deposition techniques for physical (PVD) and chemical (CVD). The main aim is to create a theme in different ways of implementation by using magnetron sputtering device, and these motives evaluated in terms of the quality of sputtering.
Klíčová slova: chemická depozice vrstev (CVD); fyzikální depozice vrstev (PVD); magnetronové naprašování; struktury; tenkovrstvá technologie; Tenká vrstva; chemical vapour deposition (CVD); Magnetron Sputtering; physical vapour deposition (PVD); structure; Thin film; thin film technology

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/32575

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-587931


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce